（原标题：华海清科(688120.SH)：自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生出产）开云体育(中国)官方网站

格隆汇12月23日丨华海清科(688120.SH)在互动平台示意，公司CMP装备包含清洗模块，清洗技能均为公司自主研发，基于公司在此限度的技能积淀和集成电路客户需求，公司积极开展清洗装备的研发职责，主要面向材料端的结尾清洗市集需求。公司自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生出产，欺诈于4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗装备和12英寸单片结尾清洗机已竣事首台验收开云体育(中国)官方网站，清洗居品推崇告成。